- 品牌：Leica/徠卡
- 型號：Leica DCM8
- 類型：微分干涉差顯微鏡
- 安裝方式：臺式
- 筒數(shù)：雙筒
- 物鏡轉(zhuǎn)盤：6位手動式物鏡轉(zhuǎn)盤/6位電動式物鏡轉(zhuǎn)盤
- 垂直掃描范圍：共聚焦40mm，PSI20μm、ePSI100μm、VSI10mm
- 樣品反射率：0.1%-100%
Leica DCM8徠卡共聚焦干涉顯微鏡-3D光學(xué)表面測量系統(tǒng)：
Leica DCM8徠卡白光共聚焦干涉顯微鏡，是具有非接觸式三維光學(xué)表面測量新技術(shù)的測量系統(tǒng)，融合了微米級分辨率共聚焦顯微技術(shù)和亞納米級垂直分辨率的干涉測量技術(shù)，是具有多功能超高速3D表面測量的雙核系統(tǒng)，可提供鮮明的真彩成像效果，為高精度表面分析工作中任何測量觀察任務(wù)提供一站式解決方案。模式選擇一鍵完成，智能軟件、無移動部件的高分辨率共聚焦掃描技術(shù)確保用戶實現(xiàn)超快速的分析操作。大大提高了工作效率。
其通過各種規(guī)格的徠卡物鏡、電動載物臺和鏡筒來對系統(tǒng)進(jìn)行配置，能夠完全適用于所測量的樣品。徠卡DCM8包括1個高清CCD攝像頭和4個LED光源（RGB和白色）；直觀的2D和3D軟件便于數(shù)據(jù)采集和分析，同時可以滿足對文檔創(chuàng)建需求。
?Leica DCM8徠卡共聚焦干涉顯微鏡-關(guān)鍵特征體現(xiàn)優(yōu)勢：
精確性高，功能多樣，滿足各種表面測量需求
? 高清共聚焦顯微技術(shù)可實現(xiàn)更高橫向分辨率、斜率求解和成像
? 高清干涉測量技術(shù)可實現(xiàn)高達(dá)0.1nm的縱向分辨率
? 顯微鏡通過明場和暗場方便地實現(xiàn)圖像快速精確攝取
? 具有四盞RGB高清彩色成像LED，應(yīng)用范圍更廣泛
? 能使用三種方法測量厚薄不同的薄膜
? 卓越的光學(xué)元件、高清CCD攝像頭與LED光源相結(jié)合，加上高分辨率和對比度提供水晶般清晰透徹的高質(zhì)量圖像
? 依據(jù)具體需求選配組件和物鏡，量身定制，充分滿足測量要求
簡單、快速、耐用，省時省力，省資金， 實現(xiàn)精確測量
? 操作簡單，無需準(zhǔn)備樣品或切換儀器
? 采用數(shù)字高清共聚焦掃描，快速、可靠
? 通過大視場和自動拼接所攝取的3D模型組成大表面形貌圖像，輕松獲取準(zhǔn)確數(shù)據(jù)
? 智能直觀的2D和3D軟件，適用于數(shù)據(jù)采集和分析
? 提供三種干涉測量模式，明視場模式和暗視場模式，使其具有更高的精確度和可重復(fù)性
? 設(shè)備在使用壽命期限內(nèi)除正常清潔保養(yǎng)外，幾乎不需要任何維護(hù)，非常耐用
| 系統(tǒng) | Leica DCM8技術(shù)參數(shù) | |||||||
| 測量原理 | 非接觸式3D雙核光學(xué)成像輪廓測定法（共聚焦和干涉測量） | |||||||
| 功能 | 高清成像、高清3D形貌、輪廓、坐標(biāo)、厚度、粗糙度、體積、表面紋理、光譜分析、色譜分析等 | |||||||
| 對比度模式 | 高清共聚焦、高清干涉測量（PSI、ePSI、VSI）、高清明場彩色、明場、暗場、實時高清RGB共聚焦 | |||||||
| 樣品高度 | 標(biāo)準(zhǔn)型：40mm；包括可調(diào)立柱：最高150mm；根據(jù)要求可提供更高的樣品高度 | |||||||
| 物鏡 | 共聚焦、明場和暗場模式下，放大倍率1.25X至150X；干涉測量模式下，放大倍率5X至50X | |||||||
| 物鏡轉(zhuǎn)盤 | 6位手動式物鏡轉(zhuǎn)盤/6位電動式物鏡轉(zhuǎn)盤 | |||||||
| 載物臺掃描范圍（X、Y、Z） | 垂直：Z=40mm；水平：XY=100x75mm（標(biāo)準(zhǔn)），或=300x300mm（最大），根據(jù)要求， 可提供更大的載物臺 | |||||||
| 垂直掃描范圍 | 共聚焦40mm，PSI20μm、ePSI100μm、VSI10mm | |||||||
| 照明 | LED光源：紅色（630nm），綠色（530nm），藍(lán)色（460nm）和白色 | |||||||
| 圖像采集 | CCD黑白傳感器：1360x1024像素（全分辨率）；黑白35FPS | |||||||
| 樣品反射率 | 0.1%-100% | |||||||
| 尺寸和重量 | 長x寬x高=573x390x569mm；重量：48kg | |||||||
| 工作條件 | 溫度：10℃至35℃；相對濕度（HR）＜80%；海拔高度＜2000m | |||||||
| 隔振 | 有源或無源 | |||||||
| 再現(xiàn)性（50X放大倍率） | 共聚焦/VSI：誤差=0.003μm（3nm）；PSI：誤差=0.16nm（0.00016μm） | |||||||
| 精確度（20X放大倍率） | 開環(huán)：相對誤差＜3%；閉環(huán)：誤差＜20% | |||||||
| 共聚焦模式 | ||||||||
| 物鏡放大倍率 | 1.25X | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | 150X |
| 數(shù)值孔徑 | 0.04 | 0.07 | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.9 | 0.95 | 0.95 |
| 視場（μm） | 14032x10560 | 7016x5280 | 3508x2640 | 1754x1320 | 877x660 | 351x264 | 175x132 | 117x88 |
| 光學(xué)分辨率（X/Y）（μm） | 35 | 20 | 0.94 | 0.47 | 0.28 | 0.16 | 0.14 | 0.14 |
| 縱向分辨率（nm） | ＜3000 | ＜350 | ＜150 | ＜30 | ＜15 | ＜5 | ＜2? | ＜2 |
| 典型測量時間 | 3-5s | |||||||
| 干涉測量模式 | ||||||||
| 物鏡放大倍率 | - | - | 5X | 10X | 20X | 50X | - | - |
| 數(shù)值孔徑 | - | - | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.5 | - | - |
| 視場（μm） | - | - | 3508x2640 | 1754x1320 | 677x660 | 351x264 | - | - |
| 光學(xué)分辨率藍(lán)光（X/Y）（μm） | - | - | 0.94 | 0.47 | 0.35 | 0.28 | - | - |
| 光學(xué)分辨率白光（X/Y）（μm） | - | - | 1.12 | 0.56 | 0.42 | 0.33 | - | - |
| 縱向分辨率（nm） | - | - | PSI＜0.1；ePSI＜1.0；VSI＜3.0 | - | - | |||
| 垂直掃描速度（μm/s） | - | - | VSI/ePSI：2.4-17μm/s | - | - | |||
| 典型測量時間 | - | - | PSI：3-6s；VSI：10s；ePSI：30s | - | - | |||
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