- 品牌：Leica/徠卡
- 型號：Leica DM3 XL
- 類型：微分干涉差顯微鏡
- 安裝方式：臺式
- 筒數：雙筒
- 電源：穩定的通用電源單元，90-230V
- 載物臺沖程：30mm
- 選配放大倍率調節器：（1X、1.5X、2X）
Leica DM3 XL徠卡材料顯微鏡-微電子和半導體用快速檢測檢驗系統：
Leica DM3 XL徠卡全手動正置材料顯微鏡，是特別適合微電子和半導體檢測快速檢測的檢驗系統。在微電子和半導體的檢驗、過程控制或缺陷和故障分析中，要求檢測速度必須夠快，才能滿足快速做出反應的要求。DM3 XL顯微鏡充分利用特有的宏觀物鏡視場寬敞30%，快速掃描大到6"樣品組件，檢驗系統憑借大視場能快速識別缺陷，提高工作效率。同時DM3?XL檢驗系統為中等預算用戶提供了高端品質，是微電子和半導體理想的檢驗系統。
訂購熱線：186-0255-6086?
Leica DM3 XL徠卡材料顯微鏡-關鍵特征體現優勢：
高效檢驗大到 6" 樣品
? ?0.7X放大倍率的宏觀物鏡實時采集35.7mm的視場，快速掃描大到6"的樣品組件，更多細節盡收眼底，工作更高效
? ?宏觀物鏡下可靠檢測晶片邊緣或中心顯影不足區域、不均勻的徑向膜厚度等
? ?視場比普通物鏡寬敞30%，能有效節省檢驗時間，快速檢測、快速響應
LED照明適用任何相襯觀察方法
? ?徠卡特有的LED照明，提供恒定色溫，亮度等級自由調節，真彩色成像，始終可看到相同顏色樣品，并獲得可復制的結果
? ?適用于明場、暗場、微分干涉相襯、偏振、熒光和斜射照明
? ?LED使用壽命可達35000小時，低能耗，節約成本
以實惠價格享受徠卡卓越的光學特性
? ?采用斜射照明檢驗側面、邊緣或碎屑，從不同角度照亮樣品，是簡單有效的形貌可視方法
? ?借助深暗場對比檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒，此外暗場的大工作距離有利于保護珍貴樣品免受損傷
多種載物臺插件適合不同樣品
? 載物臺插件種類豐富，依據被檢測樣品形狀和尺寸的選配
? 載物臺尺寸：150 mm x 150 mm
? 供選配的載物臺插件：金屬插件、晶片支座或掩模支座
? 能實現載物臺快速粗略或精準定位
直觀明了工作更舒適
? 彩色編碼功能對基本設置進行簡化，提升工作速度，并減少操作失誤
? 采用人體工學設計，舒適性好，操作更簡單
| 系統 | Leica DM3 XL技術參數 | |
| 顯微鏡支架 | 固定的金屬支架 | |
| 調焦 | 2檔調焦（粗調/微調，采用1μm測微尺刻度，帶頂部調焦限位裝置）或 3檔調焦（粗調/微調，采用1μm和4μm測微尺刻度，帶頂部調焦限位裝置） 扭矩粗調焦，可調載物臺高度擋塊 | |
| 載物臺沖程 | 30mm | |
| 入射光 | 堅固的入射光軸，帶4位反射鏡轉盤 | |
| 適用于BF/DF/POL/DIC和FLUO： ?帶斜射照明 ?帶彩色編碼光圈輔助（CCDA) ?帶中心孔徑可變光闌 ?帶入射光濾片匣（雙濾片，直徑32mm） | ||
| 下列光源可適應所有入射光軸： ?LED-燈箱，帶入射光亮度內部顯微鏡空件 ?鏡像室106，適用于兩種光源的同步調整 ?熒光照明SFL 100、4000和7000 ?EL6000、Hg50、Hg100、Xe75 ?12V100W鹵素光源（106或107/2系列燈箱），帶獨立變壓器 | ||
| 物鏡轉盤/物鏡 | 5孔 BF/DF M32、6孔 BF M25物鏡轉盤： ?5X、10X、20X高反差平場消色差EPI物鏡 ?2.5X-100X平場消色差EPI物鏡 ?1.25X-100X平場半復消色差物鏡 ?0.7X宏觀50X、100X、150X平場復消色差物鏡 | |
| LED照明 | 適用于所有相襯觀察方法的LED ?在所有亮度等級下實現真彩色成像 ?自由調節 ?無需更換燈泡 – 無停機時間 ?可復制的結果 | |
| 載物臺 | 有種類豐富的載物臺插件供選擇，適合多種類型和尺寸的試樣檢驗： ?載物臺尺寸：150x150mm ?載物臺插件：金屬插件、晶片支座或掩模支座 ?快速的粗略或精準載物臺定位 | |
| 附件 | 選配放大倍率調節器（1X、1.5X、2X） | |
| 選配測量載物臺，適用于X、Y和Z向測量 | ||
| 透射光 | 借助帶光纖的外部冷光源照明 | |
| 電源 | 穩定的通用電源單元，90-230V | |